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蔡司聚焦离子束应用领域

发布日期 :2020-07-17 09:26访问:1次发布IP:101.69.225.198编号:6646003
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光学仪器
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详细介绍
   蔡司聚焦离子束Crossbeam双束电镜将场发射扫描电镜(FE-SEM)镜筒的强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)的高效处理加工能力相结合。无论是加工切割、成像或进行3D分析,都能在不损失精度的前提下,提高聚焦离子束的应用速率效率。通过加装飞秒激光(Femtosecond Laser)模块,Crossbeam的加工效率可进一步拓展,同时可以满足多种微纳加工需求。
 
  [ 产品特点 ]
  1. 低能着陆电压下获得高分辨率图像
  2. 可实现大尺寸到纳米精度的切割
  3. 批量自动制备TEM薄片样品
  4. Atlas 5可创建多尺度、多模式综合图像
  5. ToF-SIMS 实现高通量3D成份分析
  6. 特别设计的无漏磁镜筒
  7. 不导电样品不受荷电效应影响
  8. 加装飞秒激光模块,实现亚毫米级快速加工,同时有效避免腔室污染
 
  [ 应用领域 ]
  1. 生命科学,如断层扫描,三维重构
  2. 电池领域,如原子层组分表征
  3. 半导体领域,如失效分析,电路修复
  4. 金属领域,如界面分析,亚表面分析
  5. 材料科学,如晶体微观结构分析,纳米图形化加工
  6. 透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备
  7. 微纳加工
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